Passe en revue les étapes élémentaires de la fabrication de composants micro-électroniques : nettoyage, dépôt métallique, dépôt de couche diélectrique, oxydation, dopage, gravure, lithographie. Présente les techniques de caractérisation, indispensables pour juger de la qualité des procédés. Pour chaque étape, sont détaillés le procédé, les équipements et la physique des techniques. ©Electre 2024
Paru le : 31/01/2003
Thématique : Electronique
Auteur(s) : Non précisé.
Éditeur(s) :
Lavoisier-Hermès
Collection(s) : Traité EGEM
Contributeur(s) : Directeur de publication : Annie Baudrant
Série(s) : Non précisé.
ISBN : Non précisé.
EAN13 : 9782746206052
Reliure : Cartonné
Pages : 192
Hauteur: 24.0 cm / Largeur 16.0 cm
Épaisseur: 1.0 cm
Poids: 510 g
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