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Chimie en microélectronique


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Résumé

Présentation des chimies et des séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, de l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Sont exposées les nouvelles fonctionnalisations spécifiques. ©Electre 2025

Fiche Technique

Paru le : 08/07/2013

Thématique : Electronique

Auteur(s) : Non précisé.

Éditeur(s) : Lavoisier-Hermès

Collection(s) : Micro et nano électronique et systèmes

Contributeur(s) : Directeur de publication : Yannick Le Tiec

Série(s) : Non précisé.

ISBN : 978-2-7462-3918-0

EAN13 : 9782746239180

Reliure : Relié

Pages : 384

Hauteur: 24.0 cm / Largeur 16.0 cm


Épaisseur: 1.7 cm

Poids: 790 g