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Techniques innovantes pour la caractérisation optique microstructurale de couches minces


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Résumé

La caractérisation de la porosité, d'hétérogénéités ou de gradients dans des couches minces intéresse les scientifiques tant sur le plan théorique que pour des aspects technologiques concernant des applications en microélectronique. Cet ouvrage fait le point des connaissances actuelles associées à des méthodes fondées sur l'analyse des interactions entre matière et faisceau électromagnétique. ©Electre 2025

Fiche Technique

Paru le : 26/10/2006

Thématique : Optique - Onde

Auteur(s) : Non précisé.

Éditeur(s) : CNRS Editions

Collection(s) : Sciences et techniques de l'ingénieur

Contributeur(s) : Directeur de publication : André Ayral - Directeur de publication : Vincent Rouessac

Série(s) : Non précisé.

ISBN : Non précisé.

EAN13 : 9782271064301

Reliure : Broché

Pages : 192

Hauteur: 24.0 cm / Largeur 17.0 cm


Épaisseur: 2.5 cm

Poids: 500 g