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Techniques innovantes pour la caractérisation optique microstructurale de couches minces


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Résumé

La caractérisation de la porosité, d'hétérogénéités ou de gradients dans des couches minces intéresse les scientifiques tant sur le plan théorique que pour des aspects technologiques concernant des applications en microélectronique. Cet ouvrage fait le point des connaissances actuelles associées à des méthodes fondées sur l'analyse des interactions entre matière et faisceau électromagnétique. ©Electre 2025

Les couches minces ou très minces (d'épaisseurs comprises entre seulement quelques micromètres et quelques nanomètres) sont omniprésentes dans notre environnement, que ce soit à l'état naturel, dans les mondes du vivant et minéral, ou à l'état synthétique, dans les objets manufacturés : membranes biologiques, couches d'altération, revêtements de protection, films à propriétés conductrices ou isolantes, couches colorées, membranes synthétiques, capteurs.

Leurs propriétés d'usage dépendent à la fois de leur composition chimique globale et de leur microstructure. L'optimisation de ces propriétés nécessite donc une caractérisation fine de la microstructure. Cependant leur faible épaisseur rend particulièrement complexe cette opération.

Cet ouvrage présente différentes techniques de caractérisation fondées sur l'analyse des interactions entre la matière et un faisceau électromagnétique ou neutronique. Il expose les bases théoriques et les derniers développements des techniques ellipsométriques, de réflectométrie (X, neutronique et optique) et de diffraction des rayons X.

Les auteurs des différents chapitres, spécialistes reconnus, proposent des textes synthétiques assortis de références bibliographiques à partir desquelles le lecteur pourra approfondir ses connaissances. Cet ouvrage sera ainsi fort utile à tous les ingénieurs, chercheurs et étudiants souhaitant s'initier ou se perfectionner aux techniques de caractérisation de films minces.

Fiche Technique

Paru le : 26/10/2006

Thématique : Optique - Onde

Auteur(s) : Non précisé.

Éditeur(s) : CNRS Editions

Collection(s) : Sciences et techniques de l'ingénieur

Contributeur(s) : Directeur de publication : André Ayral - Directeur de publication : Vincent Rouessac

Série(s) : Non précisé.

ISBN : Non précisé.

EAN13 : 9782271064301

Reliure : Broché

Pages : 192

Hauteur: 24.0 cm / Largeur 17.0 cm


Épaisseur: 2.5 cm

Poids: 500 g